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J-GLOBAL ID：200902165647444963 整理番号：01A1019444

超臨界二酸化炭素からのコンフォーマル(共形)な銅とニッケルフィルムの沈着

Deposition of Conformal Copper and Nickel Films from Supercritical Carbon Dioxide.

著者 (4件)：

BLACKBURN J M

(Univ. Massachusetts, MA, USA)

LONG D P

(Univ. Massachusetts, MA, USA)

CABANAS A

(Univ. Massachusetts, MA, USA)

WATKINS J J

(Univ. Massachusetts, MA, USA)

資料名：

Science (Science)

巻： 294 号： 5540 ページ： 141-145 発行年： 2001年10月05日
JST資料番号： E0078A ISSN： 0036-8075 CODEN： SCIEA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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