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文献
J-GLOBAL ID：200902165649501379
整理番号：94A0279732
0≦x≦0.25の任意の組成をもつSi1-xGexエピ層の分光偏光解析
Spectroscopic ellipsometry of Si1-xGex epilayers of arbitrary composition 0≦x≦0.255.
CARLINE R T
(Defence Research Agency, Worcestershire, GBR)
,
PICKERING C
(Defence Research Agency, Worcestershire, GBR)
,
ROBBINS D J
(Defence Research Agency, Worcestershire, GBR)
,
LEONG W Y
(Defence Research Agency, Worcestershire, GBR)
,
PITT A D
(Defence Research Agency, Worcestershire, GBR)
,
CULLIS A G
(Defence Research Agency, Worcestershire, GBR)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 64 号： 9 ページ： 1114-1116 発行年： 1994年02月28日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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