文献
J-GLOBAL ID:200902165711966901
整理番号:93A0372089
ZnSeの有機金属化学蒸着におけるアリルセレン源の分解
Decomposition of Allylselenium Sources in the Metalorganic Chemical Vapor Deposition of ZnSe.
著者 (6件):
PATNAIK S
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
HO K-L
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
JENSEN K F
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
GORDON D C
(Advanced Technology Materials, Connecticut)
,
KIRSS R U
(Advanced Technology Materials, Connecticut)
,
BROWN D W
(Advanced Technology Materials, Connecticut)
資料名:
Chemistry of Materials
(Chemistry of Materials)
巻:
5
号:
3
ページ:
305-310
発行年:
1993年03月
JST資料番号:
T0893A
ISSN:
0897-4756
CODEN:
CMATEX
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)