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文献
J-GLOBAL ID：200902165893635344
整理番号：94A0731437
Deposition and characterization of nanocrystalline diamond films.
GRUEN D M
(Argonne National Lab., Illinois)
,
PAN X
(Argonne National Lab., Illinois)
,
KRAUSS A R
(Argonne National Lab., Illinois)
,
LIU S
(Argonne National Lab., Illinois)
,
LUO J
(Argonne National Lab., Illinois)
,
FOSTER C M
(Argonne National Lab., Illinois)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 12 号： 4 Pt 1 ページ： 1491-1495 発行年： 1994年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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