文献
J-GLOBAL ID:200902166031135610
整理番号:97A0272080
Annealing of semiconductor films by a moving laser beam.
著者 (2件):
ROSTAMI A A
(Univ. California, CA, USA)
,
GRIGOROPOULOS C P
(Univ. California, CA, USA)
資料名:
Transport Phenomena in Thermal Engineering, Vol.2
(Transport Phenomena in Thermal Engineering, Vol.2)
ページ:
1096-1101
発行年:
1993年
JST資料番号:
K19970027
ISBN:
1-56700-015-0
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)