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文献
J-GLOBAL ID：200902166104216401
整理番号：93A0960032
Anomalous behavior of semi-insulating silicon rich amorphous silicon nitride.
BERNSTEIN J B
(MIT Lincoln Lab., MA)
,
GLEASON E F
(MIT Lincoln Lab., MA)
,
WETSEL A E
(Harvard Univ., MA)
,
LIU E Z
(Harvard Univ., MA)
,
WYATT P W
(MIT Lincoln Lab., MA)
資料名：
Amorphous Insulating Thin Films
(Amorphous Insulating Thin Films)
ページ： 113-118 発行年： 1993年
JST資料番号： K19930557 ISBN： 1-55899-179-4 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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