文献
J-GLOBAL ID:200902166137780019
整理番号:96A0310854
シリコン製のマイクロカンチレバービームの破壊試験
Fracture testing of silicon microcantilever beams.
著者 (3件):
WILSON C J
(Hewlett Packard Lab., California)
,
ORMEGGI A
(Hewlett Packard Lab., California)
,
NARBUTOVSKIH M
(Hewlett Packard Lab., California)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
79
号:
5
ページ:
2386-2393
発行年:
1996年03月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)