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文献
J-GLOBAL ID：200902166147405984
整理番号：02A0041516
UBMスパッタ法で作成したDLC積層膜の摺動特性
岩村栄治
(神戸製鋼所 材料研)
,
赤理孝一郎
(神戸製鋼所)
資料名：
日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集
(Proceedings of JAST Tribology Conference)
巻： 2001-11 ページ： 151-152 発行年： 2001年10月14日
JST資料番号： Y0047B ISSN： 0919-6005 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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