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文献
J-GLOBAL ID：200902166187275242
整理番号：97A0203042
Electrostatic Micro Torsion Mirrors for an Optical Switch Matrix.
TOSHIYOSHI H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
FUJITA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 5 号： 4 ページ： 231-237 発行年： 1996年12月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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