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文献
J-GLOBAL ID:200902166208000435   整理番号:93A0596468

DCマグネトロンスパッタにより作製したa-Si:Hおよびa-Si1-xCx:Hの微細構造特性

Microstructural properties of DC magnetron sputtered a-Si:H and a-Si1-xCx:H.
著者 (5件):
GRACIN D
(Rudjer Boskovi<span style=text-decoration:overline>c ́</span> Inst., Zagreb, YUG)
IVANDA M
(Rudjer Boskovi<span style=text-decoration:overline>c ́</span> Inst., Zagreb, YUG)
LUGOMER S
(Rudjer Boskovi<span style=text-decoration:overline>c ́</span> Inst., Zagreb, YUG)
DESNICA U V
(Rudjer Boskovi<span style=text-decoration:overline>c ́</span> Inst., Zagreb, YUG)
RADI<span style=text-decoration:overline>C ́</span> N
(Rudjer Boskovi<span style=text-decoration:overline>c ́</span> Inst., Zagreb, YUG)

資料名:
Applied Surface Science  (Applied Surface Science)

巻: 70/71  号: Pt B  ページ: 686-690  発行年: 1993年06月 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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