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文献
J-GLOBAL ID：200902166368321653
整理番号：93A0503764
ダウンストリームマイクロ波およびラジオ波平板プラズマ反応器におけるGaAsのアンモニアプラズマ不動態化
Ammonia plasma passivation of GaAs in downstream microwave and radio-frequency parallel plate plasma reactors.
AYDIL E S
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
GIAPIS K P
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
GOTTSCHO R A
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
DONNELLY V M
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
YOON E
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 11 号： 2 ページ： 195-205 発行年： 1993年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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