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文献
J-GLOBAL ID：200902166377679633
整理番号：94A0323738
マイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンド合成に及ぼす白金族金属基板の表面反応
Surface reaction of Pt-group metal substrates on diamond synthesis by MW-P-CVD.
坂本幸弘
(千葉工大)
,
高谷松文
(千葉工大)
資料名：
ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
巻： 7th ページ： 92-93 発行年： 1993年11月
JST資料番号： L1241A 資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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