文献
J-GLOBAL ID:200902166735024652
整理番号:93A0470256
Modelling of transport and film growth over patterned substrates.
著者 (2件):
CORONELL D G
(Massachusetts Inst. Technology, MA)
,
JENSEN K F
(Massachusetts Inst. Technology, MA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1788
ページ:
71-81
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)