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文献
J-GLOBAL ID：200902166743358365
整理番号：01A0528055
TMAH溶液によりエッチングした単結晶シリコンの表面粗さ
Surface roughness of single-crystal silicon etched by TMAH solution.
SHIKIDA M
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
MASUDA T
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
UCHIKAWA D
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
SATO K
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A90 号： 3 ページ： 223-231 発行年： 2001年05月20日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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