文献
J-GLOBAL ID:200902166743358365
整理番号:01A0528055
TMAH溶液によりエッチングした単結晶シリコンの表面粗さ
Surface roughness of single-crystal silicon etched by TMAH solution.
著者 (4件):
SHIKIDA M
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
MASUDA T
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
UCHIKAWA D
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
SATO K
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
A90
号:
3
ページ:
223-231
発行年:
2001年05月20日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)