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文献
J-GLOBAL ID：200902166794231165
整理番号：93A0343367
表面処理への応用に関連したN2-H2グロー放電中の電子および振動状態の動力学
Electron and vibrational kinetics in an N2-H2 glow discharge with application to surface processes.
LOUREIRO J
(Univ. T<span style=text-decoration:overline>e ́</span>cnica de Lisboa(INIC), Lisboa, PRT)
,
RICARD A
(Univ, Paris-Sud, Orsay, FRA)
資料名：
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 26 号： 2 ページ： 163-176 発行年： 1993年02月14日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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