文献
J-GLOBAL ID:200902166811514923
整理番号:93A0816266
一様水平磁場におけるCzochralskiシリコン成長中の回転駆動融液運動に及ぼす結晶の非零電気伝導率の効果
Effects of the crystal’s non-zero electrical conductivity on the rotationally driven melt motion during Czochralski silicon growth with a uniform, transverse magnetic field.
著者 (2件):
WALKER J S
(Univ. Illinois, Illinois, USA)
,
WILLIAMS M G
(Northeastern Univ., Massachusetts, USA)
資料名:
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻:
132
号:
1/2
ページ:
31-42
発行年:
1993年09月
JST資料番号:
B0942A
ISSN:
0022-0248
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)