文献
J-GLOBAL ID:200902167005141919
整理番号:94A0114270
A snorkel type conical objective lens with E cross B field for detecting secondary electrons.
著者 (3件):
SATO M
(Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN)
,
TODOKORO H
(Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN)
,
KAGEYAMA K
(Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
2014
ページ:
17-23
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)