文献
J-GLOBAL ID:200902167427715756
整理番号:97A0950382
アルゴンの容量性RF放電の破壊特性
Breakdown Characteristics of RF Argon Capacitive Discharge.
著者 (2件):
SATO M
(Yamagata Univ., Yonezawa, JPN)
,
SHOJI M
(Yamagata Univ., Yonezawa, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
36
号:
9A
ページ:
5729-5730
発行年:
1997年09月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)