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文献
J-GLOBAL ID：200902167500956635
整理番号：98A0957373
銅の化学蒸着前駆体としての銅(I)tert-ブチル3-オキソブタン酸エステル錯体
Copper(I) tert-Butyl 3-Oxobutanoate Complexes as Precursors for Chemical Vapor Deposition of Copper.
CHOI H
(Univ. Illinois at Urbana-Champaign, Illinois)
,
HWANG S
(Univ. Illinois at Urbana-Champaign, Illinois)
資料名：
Chemistry of Materials
(Chemistry of Materials)
巻： 10 号： 9 ページ： 2326-2328 発行年： 1998年09月
JST資料番号： T0893A ISSN： 0897-4756 CODEN： CMATEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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