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文献
J-GLOBAL ID：200902167538958925
整理番号：99A0586777
W/W(C)薄膜の機械的性質 Young率,破壊靭性,付着強さ
Mechanical properties of W and W(C) thin films: Young’s modulus, fracture toughness and adhesion.
HARRY E
(CEA/Grenoble, Grenoble, FRA)
,
ROUZAUD A
(CEA/Grenoble, Grenoble, FRA)
,
IGNAT M
(INP/Grenoble, Saint Martin d’Heres, FRA)
,
JULIET P
(CEA/Grenoble, Grenoble, FRA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 332 号： 1/2 ページ： 195-201 発行年： 1998年11月02日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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