文献
J-GLOBAL ID:200902167636884794
整理番号:00A0653286
ガラス質二酸化けい素のHF系溶液中でのエッチング機構
Etching Mechanism of Vitreous Silicon Dioxide in HF-Based Solutions.
著者 (1件):
KNOTTER D M
(Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD)
資料名:
Journal of the American Chemical Society
(Journal of the American Chemical Society)
巻:
122
号:
18
ページ:
4345-4351
発行年:
2000年05月10日
JST資料番号:
C0254A
ISSN:
0002-7863
CODEN:
JACSAT
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)