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文献
J-GLOBAL ID：200902167730995877
整理番号：94A0145707
Design of a surface roughness measuring sensor with high accuracy and wide dynamic range.
LU X-D
(Huazhong Univ. Science and Technology, Hubei, CHN)
,
JIANG X-Q
(Huazhong Univ. Science and Technology, Hubei, CHN)
,
XIE T-B
(Huazhong Univ. Science and Technology, Hubei, CHN)
,
LI Z
(Huazhong Univ. Science and Technology, Hubei, CHN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 2101 号： Pt 1 ページ： 348-351 発行年： 1993年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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