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文献
J-GLOBAL ID：200902167735297000
整理番号：01A0398870
Si1-xGex合金層の固相結晶化
Solid-phase crystallization of Si1-xGex alloy layers.
YAMAGUCHI S
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
SUGII N
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
PARK S K
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
NAKAGAWA K
(Yamanashi Univ., Yamanashi, JPN)
,
MIYAO M
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 89 号： 4 ページ： 2091-2095 発行年： 2001年02月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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