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J-GLOBAL ID：200902167868254754 整理番号：97A0745105

MOVPE法によるサブミクロンパターンへのGaN選択成長

Selective growth of GaN on sub-micron pattern by MOVPE.

著者 (4件)：

松嶋秀忠

(名古屋大工)

平松和政

(三重大工)

花井寿佳

(名古屋大工)

沢木宣彦

(名古屋大工)

資料名：

電子情報通信学会技術研究報告 (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))

巻： 97 号： 59(ED97 26-40) ページ： 41-46 発行年： 1997年05月23日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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