文献
J-GLOBAL ID:200902167886161941
整理番号:97A1044518
二つの変調器で一般化した偏光解析法 実験とキャリブレーション
Two-modulator generalized ellipsometry: experiment and calibration.
著者 (2件):
JELLISON G E JR
(Oak Ridge National Lab., Tennessee)
,
MODINE F A
(Oak Ridge National Lab., Tennessee)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
36
号:
31
ページ:
8184-8189
発行年:
1997年11月01日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)