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文献
J-GLOBAL ID：200902167945450405
整理番号：02A0686148
高導電性で深紫外透明なβ-Ga2O3薄膜の低い蒸着温度における作製
Preparation of highly conductive, deep ultraviolet transparent β-Ga2O3 thin film at low deposition temperatures.
ORITA M
(JST-ERATO, Kawasaki, JPN)
,
HIRAMATSU H
(JST-ERATO, Kawasaki, JPN)
,
OHTA H
(JST-ERATO, Kawasaki, JPN)
,
HIRANO M
(JST-ERATO, Kawasaki, JPN)
,
HOSONO H
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 411 号： 1 ページ： 134-139 発行年： 2002年05月22日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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