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文献
J-GLOBAL ID：200902168027428304
整理番号：98A0750188
サファイア上のエピタキシャルAlN/TiNバイレーヤの作製と特性評価
Fabrication and characterization of epitaxial AlN/TiN bilayers on sapphire.
TALYANSKY V
(Univ. Maryland, MD, USA)
,
VISPUTE R D
(Univ. Maryland, MD, USA)
,
RAMESH R
(Univ. Maryland, MD, USA)
,
SHARMA R P
(Univ. Maryland, MD, USA)
,
VENKATESAN T
(Univ. Maryland, MD, USA)
,
LI Y X
(Univ. Maryland, MD, USA)
,
SALAMANCA-RIBA L G
(Univ. Maryland, MD, USA)
,
WOOD M C
(US Army Res. Lab., MD, USA)
,
ILIADIS A A
(Univ. Maryland, MD, USA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 323 号： 1/2 ページ： 37-41 発行年： 1998年06月22日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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