文献
J-GLOBAL ID:200902168260767542
整理番号:94A0089279
ホットフィラメント化学蒸着反応器でのハロゲン化メタンからのダイヤモンド蒸着
Diamond deposition from halogenated methane reactants in a hot-filament chemical vapor deposition reactor.
著者 (5件):
HONG F C-N
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
LIANG G-T
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
WU J-J
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
CHANG D
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
HSIEH J-C
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
63
号:
23
ページ:
3149-3151
発行年:
1993年12月06日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)