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文献
J-GLOBAL ID：200902168331703265
整理番号：99A0772497
内部アンテナを用いた誘導結合大直径プラズマの生成
Production of Inductively-Coupled Large-Diameter Plasmas with Internal Antenna.
SETSUHARA Y
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MIYAKE S
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
SAKAWA Y
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
SHOJI T
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38 号： 7B ページ： 4263-4267 発行年： 1999年07月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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