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J-GLOBAL ID：200902168344599980 整理番号：97A0924926

ダイオード絶縁型の,バルク微細加工による,くし歯形シリコン静電アクチュエータ

Bulk micromachined silicon comb-drive electrostatic actuators with diode isolation.

著者 (3件)：

SYMS R R A

(Imperial Coll., London)

HARDCASTLE B M

(Imperial Coll., London)

LAWES R A

(Rutherford Appleton Lab., Oxon, GBR)

資料名：

Sensors and Actuators. A. Physical (Sensors and Actuators. A. Physical)

巻： A63 号： 1 ページ： 61-67 発行年： 1997年09月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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