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文献
J-GLOBAL ID：200902168426653834
整理番号：97A0635323
炭素及び窒素を注入したSi(100)のトライボロジー特性
Tribological properties of carbon- and nitrogen-implanted Si(100).
KODALI P
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
HAWLEY M
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
WALTER K C
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
HUBBARD K
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
YU N
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
TESMER J R
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
LEVINE T E
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
NASTASI M
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
資料名：
Wear
(Wear)
巻： 205 号： 1/2 ページ： 144-152 発行年： 1997年04月
JST資料番号： E0377A ISSN： 0043-1648 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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