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文献
J-GLOBAL ID：200902168699035971
整理番号：99A0791551
200ミリメートルSCALPELマスクの開発
200mm SCALPEL Mask Development.
BOGART G R
(Bell Lab., NJ)
,
NOVEMBRE A E
(Bell Lab., NJ)
,
KORNBLIT A
(Bell Lab., NJ)
,
PEABODY M L
(Bell Lab., NJ)
,
FARROW R C
(Bell Lab., NJ)
,
BLAKEY M I
(Bell Lab., NJ)
,
KASICA R J
(Bell Lab., NJ)
,
KNUREK C S
(Bell Lab., NJ)
,
JOHNSTON I
(Surface Technol. Systems, Newport, GBR)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3676 号： Pt.1 ページ： 171-177 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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