文献
J-GLOBAL ID:200902169007966578
整理番号:96A0277671
四重極質量分析に基づくプロセス制御
Process control based on quadrupole mass spectrometry.
著者 (6件):
GREVE D W
(Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania)
,
KNIGHT T J
(Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania)
,
CHENG X
(Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania)
,
KROGH B H
(Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania)
,
GIBSON M A
(Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania)
,
LABROSSE J
(MKS Instruments NGS Div., Massachusetts)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
14
号:
1
ページ:
489-493
発行年:
1996年01月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)