文献
J-GLOBAL ID:200902169105190928
整理番号:93A0509540
アークジェットプラズマによるダイヤモンドの薄膜の蒸着とプラズマ表面領域の診断測定に関する最近の研究結果
Recent results on the deposition of diamond thin films by arcjet plasmas and diagnostic measurements of the plasma-surface region.
著者 (2件):
STALDER K R
(SRI International, CA, USA)
,
JEFFRIES J B
(SRI International, CA, USA)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
2
号:
2/4
ページ:
443-448
発行年:
1993年03月31日
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)