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文献
J-GLOBAL ID：200902169114946105
整理番号：97A0950370
DCマグネトロン反応性スパッタによるPb(Zr,Ti)O3膜の堆積時において,電子サイクロトロン共鳴プラズマによる酸素の活性化がPbの挿入に及ぼす効果
Effect of Activation of Oxygen by Electron Cyclotron Resonance Plasma on the Incorporation of Pb in the Deposition of Pb(Zr,Ti)O3 Films by DC Magnetron Reactive Sputtering.
KIM S-T
(Samsung Electronics Co., Ltd., Suwon, KOR)
,
LEE M-Y
(Samsung Electronics Co., Ltd., Suwon, KOR)
,
KIM H-H
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Teajon, KOR)
,
KIM Y-I
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Teajon, KOR)
,
LEE W-J
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Teajon, KOR)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 36 号： 9A ページ： 5663-5669 発行年： 1997年09月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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