文献
J-GLOBAL ID:200902169119340043
整理番号:94A0099363
Properties of SIMOX and related systems.
著者 (2件):
CRISTOLOVEANU S
(Inst. National Polytechnique de Grenoble, Grenoble, FRA)
,
OUISSE T
(CENG, Grenoble, FRA)
資料名:
Physics and Chemistry of SiO2 and the Si-SiO2 Interface 2
(Physics and Chemistry of SiO2 and the Si-SiO2 Interface 2)
ページ:
309-318
発行年:
1993年
JST資料番号:
K19940015
ISBN:
0-306-44419-4
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)