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文献
J-GLOBAL ID：200902169252169926
整理番号：96A0671685
高周波マグネトロンスパッタリングにより蒸着したZnO薄膜の微細構造発展と優先配向の変化
Microstructural evolution and preferred orientation change of radio-frequency-magnetron sputtered ZnO thin films.
LEE Y E
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
LEE J B
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
KIM Y J
(Kyonggi Univ., Suwon, KOR)
,
YANG H K
(Korea Electronic Technol. Inst., Kyung Gi-Do, KOR)
,
PARK J C
(Korea Electronic Technol. Inst., Kyung Gi-Do, KOR)
,
KIM H J
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 14 号： 3 Pt 2 ページ： 1943-1948 発行年： 1996年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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