文献
J-GLOBAL ID:200902169290404483
整理番号:93A0310917
不均一なゴム薄膜に対する原子間力顕微鏡と偏光解法の比較
Experimental comparison between atomic force microscopy and ellipsometry on thin heterogeneous rubber films.
著者 (3件):
EXTRAND C W
(Coll. France, Paris, FRA)
,
HESLOT F
(Coll. France, Paris, FRA)
,
TOULHOAT H
(Inst. Francais du P<span style=text-decoration:overline>e ́</span>trole, Rueil Malmaison, FRA)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
11
号:
1
ページ:
112-114
発行年:
1993年01月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)