文献
J-GLOBAL ID:200902169303909547
整理番号:97A0250530
水蒸気での化学蒸着SiCのパラ線形酸化
Paralinear Oxidation of CVD SiC in Water Vapor.
著者 (2件):
OPILA E J
(Cleveland State Univ., Ohio)
,
HANN R E JR
(NASA-Lewis Res. Center, Ohio)
資料名:
Journal of the American Ceramic Society
(Journal of the American Ceramic Society)
巻:
80
号:
1
ページ:
197-205
発行年:
1997年01月
JST資料番号:
C0253A
ISSN:
0002-7820
CODEN:
JACTAW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)