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文献
J-GLOBAL ID：200902169327491144
整理番号：97A0555870
微細加工した薄膜の機械的性質の測定
Measurements of mechanical properties of microfabricated thin films.
OGAWA H
(AIST, MITI, Ibaraki, JPN)
,
SUZUKI K
(Shonan Inst. Technol., Kanagawa, JPN)
,
KANEKO S
(Olympus Optical Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
NAKANO Y
(Shonan Inst. Technol., Kanagawa, JPN)
,
ISHIKAWA Y
(AIST, MITI, Ibaraki, JPN)
,
KITAHARA T
(AIST, MITI, Ibaraki, JPN)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 10th ページ： 430-435 発行年： 1997年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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