文献
J-GLOBAL ID:200902169440312914
整理番号:93A0631347
Piezoelectrically Operated Actuators by Quartz Micromachining for Optical Application.
著者 (4件):
TOSHIYOSHI H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
FUJITA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
KAWAI T
(Yokogawa Electric Corp., Tokyo, JPN)
,
UEDA T
(Yokogawa Electric Corp., Tokyo, JPN)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
6th
ページ:
133-138
発行年:
1993年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)