文献
J-GLOBAL ID:200902169451366692
整理番号:00A0079069
陽子マイクロマシニング用のレジスト材料
Resist materials for proton micromachining.
著者 (5件):
VAN KAN J A
(National Univ. Singapore, Singapore, SGP)
,
SANCHEZ J L
(National Univ. Singapore, Singapore, SGP)
,
XU B
(Inst. Micro-Electronics, Singapore, SGP)
,
OSIPOWICZ T
(National Univ. Singapore, Singapore, SGP)
,
WATT F
(National Univ. Singapore, Singapore, SGP)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
158
号:
1/4
ページ:
179-184
発行年:
1999年09月
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)