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文献
J-GLOBAL ID：200902169506659120
整理番号：02A0383207
モンテカルロ直接法によるクラスター堆積膜モフォロジー
本郷研太
(東北大 金材研)
,
水関博志
(東北大 金材研)
,
川添良幸
(東北大 金材研)
資料名：
日本金属学会講演概要
(Collected Abstracts of the Meeting of the Japan Institute Metals)
巻： 130th ページ： 231 発行年： 2002年03月28日
JST資料番号： S0988A ISSN： 1342-5730 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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