文献
J-GLOBAL ID:200902169519496425
整理番号:02A0685918
電流制御式の走査型プローブリソグラフィー
Fabrication of Nanometer-Scale Pattern Using Current-Controlled Scanning Probe Lithography.
著者 (5件):
MIYAZAKI T
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KOBAYASHI K
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
YAMADA H
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
HORIUCHI T
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
MATSUSHIGE K
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
41
号:
7B
ページ:
4948-4951
発行年:
2002年07月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)