文献
J-GLOBAL ID:200902169610506344
整理番号:00A0781077
マイクロマシンアクチュエータのための種々のアルゴン圧力でスパッタ蒸着したチタンニッケル薄膜の相変態と機械的特性
Transformation and Mechanical Properties of TiNi Thin Films Sputter Deposited at Various Argon Pressures for Micromachine Actuators.
著者 (2件):
SHIMIZU S
(Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN)
,
KURIBAYASHI K
(Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN)
資料名:
Journal of Robotics and Mechatronics
(Journal of Robotics and Mechatronics)
巻:
11
号:
4
ページ:
258-262
発行年:
1999年08月20日
JST資料番号:
L0735A
ISSN:
0915-3942
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)