文献
J-GLOBAL ID:200902169679683442
整理番号:99A0261142
バイアススパッタリングによる三次元周期性ナノ構造の形状形成の機構
Mechanism of shape formation of three-dimensional periodic nanostructures by bias sputtering.
著者 (3件):
KAWAKAMI S
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
KAWASHIMA T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
SATO T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
74
号:
3
ページ:
463-465
発行年:
1999年01月18日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)