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文献
J-GLOBAL ID：200902169710421842
整理番号：00A0795825
電子ビームリソグラフィーでの化学蒸着ダイヤモンド膜のマイクロパターン化
Micropatterning of Chernical-Vapor-Deposited Diamond Films in Electron Beam Lithography.
KIYOHARA S
(Sci. Univ. Tokyo in Yamaguchi, Yamaguchi, JPN)
,
AYANO K
(Sci. Univ. Tokyo in Yamaguchi, Yamaguchi, JPN)
,
ABE T
(Sci. Univ. Tokyo in Yamaguchi, Yamaguchi, JPN)
,
MORI K
(Sci. Univ. Tokyo in Yamaguchi, Yamaguchi, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 39 号： 7B ページ： 4532-4535 発行年： 2000年07月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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