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文献
J-GLOBAL ID:200902169710421842   整理番号:00A0795825

電子ビームリソグラフィーでの化学蒸着ダイヤモンド膜のマイクロパターン化

Micropatterning of Chernical-Vapor-Deposited Diamond Films in Electron Beam Lithography.
著者 (4件):
KIYOHARA S
(Sci. Univ. Tokyo in Yamaguchi, Yamaguchi, JPN)
AYANO K
(Sci. Univ. Tokyo in Yamaguchi, Yamaguchi, JPN)
ABE T
(Sci. Univ. Tokyo in Yamaguchi, Yamaguchi, JPN)
MORI K
(Sci. Univ. Tokyo in Yamaguchi, Yamaguchi, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

巻: 39  号: 7B  ページ: 4532-4535  発行年: 2000年07月30日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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