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文献
J-GLOBAL ID：200902169836393933
整理番号：96A0333370
TiN薄膜の成長と機械的異方性
Growth and mechanical anisotropy of TiN thin films.
MENG W J
(General Motors Res . and Dev. Center, MI, USA)
,
EESLEY G L
(General Motors Res . and Dev. Center, MI, USA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 271 号： 1/2 ページ： 108-116 発行年： 1995年12月15日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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