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文献
J-GLOBAL ID：200902169936207720
整理番号：99A0795809
側鎖にケタール基を含有するアクリルポリマーに基づく化学増幅型レジスト
Chemically amplified resists based on acrylate polymers containing ketal groups in the side chains.
KIM J-B
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
PARK J-J
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
JANG J-H
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
KIM J-Y
(Korea Kumho Petrochemical Co., Ltd., Taejon, KOR)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3678 号： Pt.1 ページ： 625-632 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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