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文献
J-GLOBAL ID：200902170068656880
整理番号：95A0161680
シリコン内部で合成された共振型赤外線センサの製造とパッケージング
Fabrication and packaging of a resonant infrared sensor integrated in silicon.
CABUZ C
(‘Politehnica’ Univ. Bucharest, Bucharest, ROM)
,
SHOJI S
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
FUKATSU K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
CABUZ E
(Automatica SA,, Bucharest, ROM)
,
MINAMI K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ESASHI M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 43 号： 1/3 ページ： 92-99 発行年： 1994年05月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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